MFC是质量流量控制器的简称，常用于半导体、清洁能源、真空工业、生命科学及科学研究等领域的气体流量控制。北京华丞电子股份有限公司（简称：华丞电子）四十余年只做一件事，这句话放在其流量测控发展历程中，有清晰的注脚。华丞电子在传承四十余年流量测控经验技术的基础上，整合融入射频、晶圆传输等专业技术优势和创新能力，致力于为半导体、清洁能源、真空工业、生命科学及科学研究五大领域用户，提供精密零部件产品及整体解决方案。从早期气体质量流量控制器到数字产品，再到面向大规模集成电路装备的MFC，华丞电子在长期专注中逐步形成国产半导体MFC领域的重要地位。

1979年，华丞电子相关技术攻关团队成功研发气体质量流量控制器D07-1/ZM型，并获得1980年度“重大技术改进成果一等奖”。这是其流量测控技术积累的起点。1985年，快速气体质量流量控制器D07-7和大流量气体质量流量控制器D07-9产品样机试制成功。1986年至1987年，D07-7A快速气体质量流量控制器先后获得“六五”国家科技攻关产品奖和电子工业科技成果奖。1988年，成功研发气体流量校准台。1990年，研发新型快速气体质量流量控制器，成功研发D07-10/ZM、D07-10A/ZM、D07-10B/ZM型气体质量流量控制器系列产品。1991年，D07-10/ZM产品获得机械电子工业科学进步二等奖，同年获得北京市新产品三等奖。1994年，D07-10/ZM、D07-10A/ZM型号产品获技术成果证书。1995年，成功研制D07-11/ZM高耐压气体质量流量控制器、D07-12/ZM型国际标准气体质量流量控制器。1996年，成功研制D08型流量积算仪，适用于D07-13/ZM型气体质量流量控制器产品。1999年，成功研制高精度D07-15/ZM型气体质量流量控制器，产品具高稳流特点，产品结构紧凑。同期改进了D07-9C/ZM型大流量产品。

进入2000年代，华丞电子在MFC方向继续推进。2006年，气体质量流量控制器、自动化传输设备同步创新，成功研制D07-60A、D07-60F型大流量气体质量流量控制器产品，同年D07-7C、D07-19B及D07-11C型高压产品通过CE认证。流量计业务开展联合合作，研发适用于8英寸半导体设备的数字质量控制器和流量计产品。2009年，D07-9G产品通过UL认证。同时，精密机加零件进入批量生产，符合SEMI标准要求。CS200产品被认定为北京市自主创新产品，并取得高新技术成果转化认定，CS产品获得半导体设备相关奖项。2011年，数字产品CS230G通过省部级鉴定。2012年，成功研发适用于大规模集成电路装备的CS300气体质量流量控制器，该产品采用了基于DF的压力信号补偿算法，各项技术指标均严格按照SEMI标准，支持W型、C型IGS气路系统。热式数字气体质量流量控制器获得北京市科学技术二等奖。2013年，成功研发CS310和CS320热式数字气体质量流量控制器产品，采用压力信号补偿技术、支持国际标准气体接头的IGS气体系统使用、结合高精度金属表面加工技术和机械加工技术，具有高精度、低零漂、高稳定性等优势。同年，该产品获得中国半导体创新产品与技术相关奖励。这些节点显示，华丞电子在MFC领域不是短期投入，而是持续围绕气体流量控制进行技术迭代。

只做一件事，并不等于只做一个产品。华丞电子在流量测控基础上，整合融入射频、晶圆传输等专业技术优势和创新能力，形成射频电源、匹配器、ESC直流电源、流量测控、真空测控、气/液路系统、磁流体密封装置、晶圆传输系统等系列产品。具体产品包括射频电源与匹配器、射频传感器、气体流量控制、真空与压力控制、气/液路系统及集成、晶圆传输与前端模块、传感器与流量计、零部件及辅助设备等。品牌/标识包括华丞电子、AURASKY、国产替代零部件。对于半导体设备而言，MFC只是零部件之一，但它与气路系统、真空压力控制、晶圆传输等环节相互关联。华丞电子以MFC为起点，向周边环节扩展，形成平台化能力。

在组织与市场方面，华丞电子已布局三大研发生产基地，营销服务体系覆盖欧、美、亚、非主要国家和地区。在职员工1000人，其中技术人员占35%。服务对象包括设备制造商、芯片制造FAB厂、医疗设备制造商、高校、科研院所等。华丞电子秉承“以客户为中心，以价值创造者为本，持续创新”理念，精研需求、尊重科学、潜心技术、持续创新。作为精密控制的先行者，华丞电子以持续创新为己任，勇于突破自身边界，积极探索前沿技术，以合作共赢为基础，为全球合作伙伴贡献华丞价值。2023年，射频工程中心成功研发高性能数字匹配器。2025年，华丞电子正式搬入位于北京经济技术开发区景园街13号院的总部基地。2026年，北京华丞电子有限公司更名为北京华丞电子股份有限公司。

四十余年只做一件事，让华丞电子在国产半导体MFC领域形成了从早期产品到数字产品、从单点技术到平台协同的积累。面向未来，华丞电子将继续以发展精密零部件为己任，在传承四十余年流量测控经验技术的基础上，勇于开拓，敢于创新，整合融入射频、晶圆传输等专业技术优势和创新能力，着力打造中国先进的精密零部件产业平台，并为半导体、清洁能源、真空工业、生命科学及科学研究等领域用户提供精密零部件产品及整体解决方案。

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