对于要求比较高的无尘车间，还需要做无尘车间地面的防静电处理。通过使用防静电水磨石做面层，再通过铺设静电接地网来达到防静电效果。如果无尘车间地面采用防静电水泥砂浆，那么久需要添加静电接地网来达到防静电功能。一般来说，电子无尘车间对防静电的要求会比较高。
为达到洁净水平，无尘车间的设置需要采取综合措施，包括工艺布置、建筑平面、建筑结构、空气净化措施、维护管理等，其中空气净化措施是达到洁净水平的根本保证。
在决定无尘车间的设计之前，必须仔细考虑工厂的工作性质和气流条件。在粉尘排放量较大的无尘车间内，不要使用地面送风，以免进入其他需要清洁的工作场所。
无尘车间必须防止外界空气进入室内，室内必须保持正压才能达到目的。为了获得必要的室内压力，必须添加适当的新鲜空气。
在整个集成电子无尘车间中，电路的尺寸技术可以说是促进净化的关键点。电子无尘车间的制备方法越先进，芯片尺寸越小。然而，电子无尘车间电路上的颗粒物粒径小约1%～2%，在电子无尘车间中会成为废品，因为金属及类似是电子无尘车间的废品问题之一。