1、高纯铋靶材加工工艺流程
原料
原料检测
成 型
热 处 理
机加工成型
选用进口或
国产高纯铋
碳硫分析仪，氧氮分析仪，ICP，XRD，GDMS。
热等静压,真空感应熔炼
电子束熔炼,悬浮熔炼等
晶粒细化
切割，磨床，铣床，车床，CNC。
成品检测
绑定
探伤扫描
合格
包装出库
交付客户
检测成品外观尺寸公差
金属化
绑定
专用包装
2、应用领域机设备
2-1适用设备：适用于北方华创、中科科仪、沈阳科仪、中电科、微电子所、南光机器厂、金盛微纳、泰科诺、Kurt J.Lesker 爱发科、丹顿真空等各种单靶溅射系统，多靶溅射系统，离子溅射系统等磁控溅射设备。
2-2应用领域：生产及科研<s